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德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板 TC-RT03
點擊次數(shù):35 更新時間:2025-11-24
 

產(chǎn)品概述

德國Technologie-Manufaktur公司生產(chǎn)的TC-RT03 MAT是一款高精度的顯微鏡分辨率測試板,主要用于校準(zhǔn)、驗證和評估各類光學(xué)顯微鏡(如廣角鏡、激光掃描顯微鏡等)的分辨率、對比度和成像性能。其核心采用先進(jìn)的電子束光刻技術(shù)制造,確保了納米級別的結(jié)構(gòu)精度,是光學(xué)實驗室和質(zhì)量控制中的基準(zhǔn)工具。

 

核心技術(shù)與優(yōu)勢

 

超高精度制造:采用電子束光刻技術(shù)直接在鉻層上燒蝕生成測試結(jié)構(gòu),最小結(jié)構(gòu)尺寸可低至100納米,確保了佳的尺寸公差(低至14納米)和結(jié)構(gòu)邊緣的直線度。

 

優(yōu)異的光學(xué)性能:

 

基底材料:使用石英(熔融二氧化硅),提供從深紫外到近紅外(190nm - 2000nm)的極寬光譜透射范圍,適用于多種光源。

 

高對比度:鉻層提供了高的光密度,通過燒蝕形成的測試結(jié)構(gòu)是透明的,而背景是不透光的鉻層,從而產(chǎn)生極其銳利的高對比度圖像。

 

堅固耐用的設(shè)計:測試芯片被牢固地封裝在一個激光雕刻的不銹鋼支架(75mm x 25mm) 中,符合標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡載玻片尺寸,便于操作和保存。

主要技術(shù)參數(shù)

 

參數(shù)項目 規(guī)格說明

產(chǎn)品型號 TC-RT03 MAT

有效基底 石英晶圓(熔融二氧化硅),尺寸:10mm x 10mm x 1.0mm

封裝支架 不銹鋼,尺寸:75mm x 25mm x 1.5mm

結(jié)構(gòu)層 鉻層,高光密度 (>3.6 @ 1µm)

關(guān)鍵結(jié)構(gòu) 可變線對(最高可達(dá)3300 LP/mm以上)、針孔陣列(20x20)、棋盤格、邊緣MTF區(qū)域

制造工藝 電子束光刻

光譜范圍 190納米 - 2000納米

可選配置 0.17mm ± 5µm 蓋玻片(專用于高倍物鏡)

主要應(yīng)用領(lǐng)域

 

顯微鏡校準(zhǔn)與分辨率測試:精確測量光學(xué)顯微鏡在不同放大倍數(shù)(從10x100x物鏡)下的極限分辨率。

 

成像系統(tǒng)性能評估:用于評估包括激光掃描顯微鏡在內(nèi)的各種成像系統(tǒng)的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)、對比度和像差。

 

科學(xué)研究與質(zhì)量控制:在生命科學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測等領(lǐng)域,作為驗證儀器性能和確保測量一致性的標(biāo)準(zhǔn)件。

 

品牌與產(chǎn)品線

德國Technologie-Manufaktur 是一家在精密光學(xué)領(lǐng)域享有盛譽的制造商。除了高精度的分辨率測試板(定位板)外,其產(chǎn)品線還包括:

 

傳感器

 

攝像頭

 

遠(yuǎn)程顯微鏡

 

總結(jié)

Technologie-ManufakturTC-RT03 MAT分辨率測試板集成了頂尖的制造工藝和優(yōu)質(zhì)材料,為光學(xué)成像領(lǐng)域提供了可靠且高精度的測量基準(zhǔn)。無論是用于前沿科學(xué)研究還是嚴(yán)格的工業(yè)質(zhì)量控制,它都是確保顯微鏡系統(tǒng)處于最佳工作狀態(tài)的理想工具。


 
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